第一百三十一章 光刻机技术路线(第3/3页)

周新话音刚落,林本坚脸色大变,周新知道ArF和KrF,这他能理解。

因为这些都是发表在公开期刊上的内容,但凡对光刻机感兴趣的人,都有机会阅读到。

但是周新能够准确说出不往ArF方向投入的原因,即便从业人员,都没有办法知道的内容。